s20nm_l600nm_3																
strain_X [-]	stress_X [MPa]	strain_Y [-]	stress_Y [MPa]	strain_Z [-]	stress_Z [MPa]											
	0.00000			0.000			0.00000			0.000			0.00000			0.000
	0.00055			0.523			0.00055			0.606			0.00056			0.522
	0.00111			1.045			0.00111			1.211			0.00112			1.044
	0.00194			1.822			0.00194			2.111			0.00195			1.825
	0.00319			2.962			0.00319			3.423			0.00321			2.984
	0.00506			4.559			0.00506			5.224			0.00509			4.639
	0.00787			6.556			0.00787			7.436			0.00792			6.716
	0.01067			8.074			0.01067			9.094			0.01216			8.887
	0.01348			9.226			0.01348			10.321			0.01640			10.297
	0.01769			10.487			0.01769			11.611			0.02064			11.247
	0.02323			11.603			0.02323			12.730			0.02622			12.089
	0.02878			12.362			0.02878			13.497			0.03181			12.669
	0.03432			12.908			0.03432			14.060			0.03739			13.095
	0.03987			13.320			0.03987			14.493			0.04298			13.423
	0.04541			13.640			0.04541			14.838			0.04856			13.684
	0.05096			13.896			0.05096			15.120			0.05414			13.896
	0.05650			14.105			0.05650			15.355			0.05973			14.073
	0.06205			14.281			0.06205			15.556			0.06531			14.223
	0.06759			14.430			0.06759			15.729			0.07089			14.351
	0.07313			14.559			0.07313			15.880			0.07648			14.463
	0.07868			14.671			0.07868			16.013			0.08206			14.561
	0.08422			14.771			0.08422			16.131			0.08764			14.648
	0.08977			14.860			0.08977			16.237			0.09323			14.725
	0.09531			14.939			0.09531			16.332			0.09881			14.795
	0.10086			15.012			0.10086			16.419			0.10439			14.859
	0.10640			15.077			0.10640			16.498			0.10998			14.916
	0.11195			15.137			0.11195			16.571			0.11556			14.969
	0.11749			15.192			0.11749			16.637			0.12114			15.018
	0.12304			15.243			0.12304			16.699			0.12673			15.062
	0.12858			15.290			0.12858			16.756			0.13231			15.103
	0.13412			15.334			0.13412			16.810			0.13789			15.142
	0.13967			15.374			0.13967			16.859			0.14348			15.177
	0.14521			15.412			0.14521			16.906			0.14906			15.211
	0.14970			15.441			0.14970			16.942			0.15075			15.220