Name
Oxford ALE PlasmaPro 100 Ätzer
Manufacturer
Oxford Instruments GmbH  
Description
DRIE
ALE
Kryo
DOI
10.15480/882.14365
Internal ID
36502010090-00
Classification
5180 -- Ionen-Ätzanlagen (Oberflächenbearbeitung und Bohren, außer Präparieranlagen 8330)
Owner Organisation
Mikrosystemtechnik E-7  
Contact Person
Trieu, Hoc Khiem  
Available since
October 6, 2022