Name
Mask Aligner SÜSS MA45 Base machine
Manufacturer
SUSS MicroTec ReMan GmbH  
DOI
10.15480/882.14291
Internal ID
36502001177-00
Classification
0930 -- Maskenjustier-, Maskenbelichtungs-Anlagen, Mask Aligner für Halbleitertechnologie
Owner Organisation
Mikrosystemtechnik E-7  
Contact Person
Trieu, Hoc Khiem  
Available since
August 16, 2011