Titel: Herstellung und Analyse thermisch oxidierter SOI-Nanowires
Sprache: German
Autor/Autorin: Horn, Oliver 
Erscheinungsdatum: 2014
URI: http://tubdok.tub.tuhh.de/handle/11420/1208
DOI: 10.15480/882.1206
Institut: Mikrosystemtechnik E-7 
Studienbereich: Elektrotechnik und Informationstechnik
Dokumenttyp: Dissertation
Hauptberichter: Müller, Jörg 
Gradverleihende Einrichtung: Technische Universität Hamburg
Enthalten in den Sammlungen:tub.dok

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