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Title: Design und Herstellung eines planar integrierten Mikromassenspektrometers mit Micro-Channel-Plate-Detektor
Other Titles: Design and fabrication of a planar integrated micro-mass- spectrometer with a micro-channel-plate detector
Language: German
Authors: Wapelhorst, Eric 
Keywords: SIS, MCP, Mikrokanalplatte,;Micro Channel Plate;Mass Spectrometrie;MEMS;Micro System Technology
Issue Date: 2010
Examination Date: 9-Mar-2010
Abstract (german): Die genannte Arbeit beschreibt die Entwicklung eines Mikromassenspektrometers in Mikrosystemtechnik. Es werden alle Komponenten des Massenspektrometers planar auf einem 7 x 10 mm² großen Chip aus Glas und Silizium gefertigt. Diese Arbeit befasst sich im Schwerpunkt mit der Prozessentwicklung der für die Herstellung notwendigen Prozesse sowie mit dem Einsatz einer Mico-Channel-Plate (MCP) in einer selbstjustierenden Halterung, die aus Silizium geätzt wird.
Abstract (english): This work describes the development of a micro-mass-spectrometer with the methods of microsystem technologies. All components of the mass spectrometer are combined in a planar design of a 7 x 10 mm² chip fabricated out of glass and silicon. This work focuses on the development of the MEMS fabrication and on the operation of a micro-channel-plate (MCP) in a self-aligning fixture structured out of silicon.
URI: http://tubdok.tub.tuhh.de/handle/11420/784
DOI: 10.15480/882.782
ISBN: 978-3-86853-407-8
Institute: Mikrosystemtechnik E-7 
Faculty: Elektrotechnik und Informationstechnik
Type: Dissertation
Advisor: Müller, Jörg 
Thesis grantor: Technische Universität Hamburg
License: http://doku.b.tu-harburg.de/doku/lic_ohne_pod.php
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