2023-06-252023-06-25https://tore.tuhh.de/handle/11420/162651D-Nanoobjekte sind aufgrund des hohen Oberflächen zum Volumen-Verhältnisses als sensorische Strukturen besonders sensitiv. ALD ist als Abscheideverfahren mit hoher Schichtqualität und Konformität bekannt. In diesem Teilprojekt von 1D-SENSE werden Verfahren untersucht, die auf Basis von ALD 1D-Nanoobjekte auf Templatmaterialien realisieren, um Sensoren für Gase und Magnetfelder zu erzeugen.1D nano structures are due to their high surface to volume ratio particularly sensitive sensor elements. ALD is known as a thin film deposition technique with high film quality and conformity. In this part of the project 1D-SENSE methods based on ALD for the generation of 1D nano structures on template materials as sensors for gases and magnetic fields are investigated.