Müller, JörgJörgMüller1167732758Hauschild, Jan-PeterJan-PeterHauschild2010-02-152010-02-152009618567836http://tubdok.tub.tuhh.de/handle/11420/764Das Konzept, die Entwicklung und die Charakterisierung eines planar integrierten Mikromassenspektrometers (PIMMS), gefertigt in Mikrosystemtechnik, wird vorgestellt. Schwerpunkte sind die Berechnung und Simulation von Ionentrajektorien, die Elektronenerzeugung durch ein Mikroplasma und die Ansteuerelektronik. Durch die Messung von Massenspektren wird erstmals der experimentelle Funktionsnachweis des PIMMS erbracht.The concept, development and characterization of the planar integrated micro mass spectrometer (PIMMS), fabricated in microsystems technology, is presented. Key topics are the calculation and simulation of ion trajectories, the generation of electrons by a micro plasma and the control electronics. The measurement of mass spectra with the PIMMS shows the experimental proof of concept.dehttp://doku.b.tu-harburg.de/doku/lic_ohne_pod.phpMikroplasmaMicro mass spectrometerMicro plasmaCapacitively coupled plasmaIon opticsMEMSDoctoral Thesisurn:nbn:de:gbv:830-tubdok-848710.15480/882.762MassenspektrometerMikrosystemtechnikPlasmaMikrowellenplasmaIonenoptikMEMSMesstechnikMass spectrometers (see also 82.80.Ms, 82.80.Nj, and 82.80.Rt in physical chemistry and chemical physics)Micro- and nano-electromechanical systems (MEMS/NEMS) and devicesSensors (chemical, optical, electrical, movement, gas, etc.); remote11420/76410.15480/882.762930768604PhD Thesis