Müller, JörgJörgMüller1167732758Wapelhorst, EricEricWapelhorst2010-04-122010-04-122010623488884http://tubdok.tub.tuhh.de/handle/11420/784Die genannte Arbeit beschreibt die Entwicklung eines Mikromassenspektrometers in Mikrosystemtechnik. Es werden alle Komponenten des Massenspektrometers planar auf einem 7 x 10 mm² großen Chip aus Glas und Silizium gefertigt. Diese Arbeit befasst sich im Schwerpunkt mit der Prozessentwicklung der für die Herstellung notwendigen Prozesse sowie mit dem Einsatz einer Mico-Channel-Plate (MCP) in einer selbstjustierenden Halterung, die aus Silizium geätzt wird.This work describes the development of a micro-mass-spectrometer with the methods of microsystem technologies. All components of the mass spectrometer are combined in a planar design of a 7 x 10 mm² chip fabricated out of glass and silicon. This work focuses on the development of the MEMS fabrication and on the operation of a micro-channel-plate (MCP) in a self-aligning fixture structured out of silicon.dehttp://doku.b.tu-harburg.de/doku/lic_ohne_pod.phpSIS, MCP, Mikrokanalplatte,Micro Channel PlateMass SpectrometrieMEMSMicro System TechnologyDoctoral Thesis2010-04-12urn:nbn:de:gbv:830-tubdok-868810.15480/882.782MikrosystemtechnikMassenspektrometrieSekundärelektronenvervielfacherMikromechanikMassenspektrometerMEMSMicroelectronics: LSI, VLSI, ULSI; integrated circuit fabrication technology (see also 85.45.-w Vacuum microelectronics) ... ... Microwave integrated electronics, see 84.40.Lj ... ... Integrated optics, see 42.82.-m ... ... Superconducting logic elements and memory devices; microelectronic circuits, see 85.25.Hv11420/78410.15480/882.782930768717Other