Singer, Julian AlexanderJulian AlexanderSingerGeläschus, Anton UlrichAnton UlrichGeläschusSchuster, ChristianChristianSchusterTrieu, Hoc KhiemHoc KhiemTrieuKuhl, MatthiasMatthiasKuhl2022-03-072022-03-072021-11Mikroelektronik, Mikrosystemtechnik und ihre Anwendungen - Innovative Produkte für zukunftsfahige Markte - MikroSystemTechnik Congress (2021)http://hdl.handle.net/11420/11831deIntegrierte optoelektronische Systeme basierend auf hochempfindlichen Einzelphotonendetektoren für optogenetische AnwendungenConference PaperConference Paper