2023-06-252023-06-25https://tore.tuhh.de/handle/11420/16826Die Photonik ist eine Schlüsseltechnologie in der Sensorik, Signalverarbeitung und Kommunikationstechnik. Zur Integration photonischer Schaltkreise auf Waferebene bietet sich die Technologie der integrierten Photonik an. Das Institut für Mikrosystemtechnik hat hierfür eine Plattform auf Basis von amorphem Silizium (a-Si:H) etabliert, die im Unterschied zum weitverbreiteten einkristallinen SOI (Silicon on insulator)-Ansatz flexibel im PECVD-Verfahren auf verschiedene Substrate abgeschieden werden kann. Auf der a-Si:H-Plattform wird ein Biosensor realisiert, der ohne aufwendige Peripherie wie durchstimmbaren Laser und optischen Spektralanalysator betrieben werden kann, um photonische Lab on a Chip zu realisieren.Photonics is a key technology for sensors, signal processing and communication technology. Integrated photonics is appropriate for the integration of photonic circuits on wafer level. The Institute of Microsystems Technology has established a platform based on amorphous silicon (a-Si:H) which in contrast to the widespread single crystal SOI (silicon on insulator) approach can be flexibly deposited on various substrates by PECVD. A bio sensor is developed on the basis of this a-Si:H platform which can be operated without large equipment such as tunable laser and optical spectrum analyzer enabling true photonic Lab on a chip systems.