Name
Lithgraphiegerät EVG 620 Double Side Mask Aligner
Manufacturer
EVG Group E. Thallner GmbH  
DOI
10.15480/882.14368
Internal ID
365300002366-00
Classification
0930 -- Maskenjustier-, Maskenbelichtungs-Anlagen, Mask Aligner für Halbleitertechnologie
Owner Organisation
Mikrosystemtechnik E-7  
Contact Person
Trieu, Hoc Khiem  
Available since
November 28, 2006