Options
On-chip Mikroringresonator Transducer für die Messung optischer und optofluidischer Sensoren
Publikationstyp
Conference Paper
Date Issued
2019
Sprache
English
Author(s)
Institut
TORE-URI
Citation
MikroSystemTechnik Kongress, Mikroelektronik MEMS: Systemintegration – Säulen der Digitalisierung und künstlichen Intelligenz, VDE-Verlag (2019)
Contribution to Conference
Publisher
VDE-Verlag