Please use this identifier to cite or link to this item: https://doi.org/10.15480/882.1123
Fulltext available Open Access
Title: Charakterisierung integriert-optischer Silizium-Wellenleiter
Other Titles: Characterizing integrated silicon waveguides
Language: German
Authors: Müller, Jost 
Keywords: OFDR;SOI;Silicon;SOI;Silicon Photonics;OFDR;Raman;Integrated Optics
Issue Date: 2013
Examination Date: 14-May-2013
Abstract (german): 
Diese Arbeit beschreibt Messtechniken zur Charakterisierung integriert-optischer Wellenleitersysteme auf Basis der SOI-Technologie. Hierbei lag der Schwerpunkt auf der Bestimmung der Wellenleiterdämpfung sowie der Lebensdauer freier Ladungsträger. Neben einem neuartigen Verfahren zur räumlich aufgelösten Bestimmung der Wellenleiterverluste mittels optischer Frequenzbereichsreflektometrie (OFDR) wird ein experimenteller Nachweis über das nichtreziproke Verhalten der Raman-Streuung in Siliziumwellenleitern gezeigt. Weiterhin wird ein DUV-Lithografieverfahren zur Herstellung periodischer Strukturen in Fotolacken auf Siliziumsubstraten vorgestellt, das auf der Verwendung von Beugungsgittern basiert.
Abstract (english): 
In this work, measurement techniques for the characterization of integrated optical waveguides based on the SOI-technology are presented. Silicon nanophotonic waveguides are investigated regarding their linear waveguide losses as well as the lifetime of free charge carriers. A novel measurement technique based on optical frequency-domain reflectometry (OFDR) for the evaluation of the longitudinal attenuation profile of silicon waveguides is introduced. The non-reciprocal behaviour of Raman scattering in silicon waveguides is experimentally shown. Furthermore, a technique for the implementation of periodically structured photoresists on silicon substrates based on DUV-lithography with diffraction gratings is demonstrated.
URI: http://tubdok.tub.tuhh.de/handle/11420/1125
DOI: 10.15480/882.1123
ISBN: 978-3-8439-1049-1
Institute: Optische Kommunikationstechnik E-11(H) 
Faculty: Elektrotechnik und Informationstechnik
Document Type: Thesis
Thesis Type: Doctoral Thesis
Advisor: Brinkmeyer, Ernst 
Thesis grantor: Technische Universität Hamburg
License: http://doku.b.tu-harburg.de/doku/lic_mit_pod.php
Appears in Collections:Publications with fulltext

Files in This Item:
File Description SizeFormat
Diss_20130519_Druck.pdf25,99 MBAdobe PDFView/Open
Thumbnail
Show full item record

Page view(s)

640
Last Week
2
Last month
6
checked on Aug 4, 2021

Download(s)

1,252
checked on Aug 4, 2021

Google ScholarTM

Check

Note about this record

Cite this record

Export

Items in TORE are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.